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設備 – 鍵合機

將晶圓互相接合，再進一步使表面反應，產生共價鍵合
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設備 – 研磨機

將加工表面的相對運動進行加工以達到更高的平整度
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設備 – 拋光機

結合化學和機械拋光的原理，以達成對高度複合材料時，可以夠均勻地進行拋光加工
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耗材

為製程的各種環節提供多樣產品
新興事業

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