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设备 – 键合机

将晶圆互相接合，再进一步使表面反应，产生共价键合
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设备 – 研磨机

将加工表面的相对运动进行加工以达到更高的平整度
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设备 – 抛光机

结合化学和机械抛光的原理，以达成对高度复合材料时，可以够均匀地进行抛光加工
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耗材

为制程的各种环节提供多样产品
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