Based on current situation
| Item Name | Model | Manufacturer |
| 邊角研磨機 | WBM-210 | Daitron |
| 多線切割機 | MWS612-DD | Takatori |
| 線切割機 | Toyo t-8331a | Toyo |
| 晶圓測試機 | Flatmaster | Tropel |
| 研磨機 | DSL16B5L-4M4W | I&C(Apex-cowork) |
| 雙面研磨機-E | 16B-5L | 創技 |
| 雙面研磨機-C | 16B-5L | 創技 |
| Takatori線切割機 | MWS 612-DN | Takatori |
| 新華刷洗機 | WABBER2060S | Smartron |
| 高解析數位顯微鏡 | VMX-2200XG | n/a |
| 平坦度量測儀 | FRT | 辛耘 |
| 圓邊機 | W-GM-4200 | TOSEI |
| 研磨機 | 12B-5L-T0240 | 創技 |
| 研磨機 | 16B-T0231 | 創技 |
| 旋乾機 | 雙槽 | 瑞耘 |
| 拋光機 | 36GPAW | 創技 |
| 導角機 | 亮傑 | TOSEI |
| 圓邊機 | W-GM-4200B | TOSEI |
| 圓邊機 | W-GM-4200 | TOSEI |
| 自動雷刻機 | LM-2400 | FORCE |
| AOI | Sappas_V3 Full automation | 政美 |
| 刷片機 | DSC-100CV | Daitron |
| 旋乾機 | 雙槽SV-702 SCD-01Controller | 敦儀 |
| 濕蝕刻機 | SB-100S | 辛耘 |
| 去光阻化學清洗機 | 1P20100401 | 千謄 |
| 旋乾機 | 雙軸 | n/a |
| 晶片表面檢查機 | Candela CS20V | KLA-TENCOR |
| 全自動AOI | Sappas V2 | 政美 |
| 曝光機 | NSR-1505G6E | NIKON |
| 自動上光阻機 | MSX1000 | SVS Corp |
| 自動上光阻機 | MSX1000 | SVS Corp |
| 曝光機 | NSR-1505G6E | NIKON |
| 曝光機 | G6 | NIKON |
| 自動顯影機 | CIE-4D02(04)-C | CND PLUS |
| 自動顯影機 | MSX1000 | SVS Corp |
| SEM電子顯微鏡機 | SU1510 | 日立 |
| 顯微鏡 | MX40 | n/a |
| 蝕刻機 | 300IL | CORIAL |
| 拋光機 | 50GPAW | 創技 |
| 刻印機 | LASER MARKING | 新杰 |
| 拋光機 | 50GPAW | 創技 |
| 自動貼蠟機 | 1W20100805 | 元科 |
| 目檢機 | VMX-220XG | 元科 |
| X-RAY | GM.SSR.AX-PC/GM-1D | delta technology |
| 超音波清洗機 | MODEL 3303 | 明諺 |
| 研磨機 | DSM 13.4B-7L-V-4M | 創技 |
| 高溫擴散爐 | 1050度 | 陵勝 |
| 圓邊機 | WBM-2200 | Daitron |
| 晶片目檢機 | VMX-220XG | 元科 |
| FRT平坦度檢測儀 | DEMO TOOL | 辛耘 |
| 圓邊機 | W-GM-4250 | TOSEI |
| 脫蠟清洗機 | M&Y_DS1009 | 明諺 |
| 硬拋機 | 36DPAW | 創技 |
| 研磨機 | 13.4B | 創技 |
| 拋光機 | 36GPAW | 創技 |
| 全自動去蠟清洗機 | SCT T001MISC001 | 辛耘 |
| 刷片機 | Wabber 2060S | Smartron |
| 超音波清洗機 | 1MHZ/120W | 環璟 |
| 晶片表面檢查機 | Candela CS20V | KLA-TENCOR |
| 自動上光阻機 | KS-S1003C | 辛耘 |
| 蝕刻機 | 300LAH | Maxis |
| AFM晶圓表面量測儀 | D3100V | Veeco |
| 拋光機 | 36GPAW | 創技 |
| 螺旋式冰水主機 | RTHD-C1E1F1 257噸 | 詮宏 |
| 研磨機 | 12B | 創技 |
| 厚度量測儀 | AUTO MEASURE | 新杰 |
| 藍寶石基板雷射刻印機 | AK1001506AEY | 新杰 |
| AOI | SAPPAS V2 | 政美 |
| 研磨機 | 12B | 創技 |
| 冰水主機 | CH-01(FROM-CH-1-1) | TRANE |
| 105K純水系統 | 含控制箱、儲水桶2台 | SIEMENS |
