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銅盤

採用獨特樹脂與金屬燒結，能夠有效提供各類晶圓硬拋光的能力

*盤面變化低，拋光效率佳
*完工表面佳，深刮傷少
*工件完工後表面粗糙度佳
*破片率低，壽命佳

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