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全自動晶圓鍵合機

全自動藍膜貼膜設備,可增加晶圓製程良率及產量,降低人事成本及減少人為因素造成的破片

*專利防破片系統設計,可做翹曲片之取放、貼膜且不破片
*藍膜主軸使用數位扭力限制器,可自動偵測藍膜半徑並調整扭力,使藍膜張力均一
*簡易之供收料及防呆功能,減少正反取放之錯誤
*製程可以隨客戶自由選用(正貼、反貼)
*浮動式滾軸設計,確保晶圓受力平均


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