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自動精密拋光機

應用於晶片單面拋光設備，具備自動化盤面修整系統，可依製程需求，應對不同尺寸及材料加工

*盤面自動循溝系統，延長拋光盤壽命
*工作軸搭配獨立馬達，增加製程穩定性
*盤面溫度監控系統，提升產品品質
*自動化程式控制，功能擴充性靈活

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