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自動水平式精密研磨機

專屬晶圓減薄加工研磨設備，具備高精密度與快速減薄能力，晶圓尺寸適用性廣泛，適用2吋及4吋製程，並可依照製程需求變化研磨參數，提升製程穩定度與產品品質