凱創開發企業有限公司 - Silicon 矽、GaAs 砷化鎵、GaN 氮化鎵、SiC 碳化矽

OUR Product

自動CMP拋光機

全自動晶圓單面CMP拋光設備，具備業界獨有的工作盤微調功能，以確保良好完工品質

*工作軸各自獨立馬達增加製程穩定
*氣壓缸式加壓，可多段壓力設置
*盤面冷卻系統，增加製程品質
*PLC程序控制支援廠務監控（CIM）
*多重防護機制及盤面監測系統
*適用多種尺寸、各式晶片製程
*工作軸可移動功能，可提升Pad壽命