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自動精密拋光機

四軸單面拋光設備，適合多片式與大尺寸晶圓加工；獨立控制各軸加工參數，大幅提升加工效率與完工品質優良性

*加工精度高（完工厚度＜±2μ）
*適用「銅盤」及「拋光墊」
*自動盤面修整系統
*溫控冷卻系統
*鑽石液噴灑系統
*氣壓缸可自動升降

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