GaAs 砷化镓
GaN 氮化镓
SiC 碳化矽
Silicon 矽
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设备 – 键合机
将晶圆互相接合,再进一步使表面反应,产生共价键合
设备 – 研磨机
将加工表面的相对运动进行加工以达到更高的平整度
设备 – 抛光机
结合化学和机械抛光的原理,以达成对高度复合材料时,可以够均匀地进行抛光加工
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为制程的各种环节提供多样产品
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