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OUR Product

全自动晶圆键合机

全自动蓝膜贴膜设备，可增加晶圆制程良率及产量，降低人事成本及减少人为因素造成的破片

*专利防破片系统设计，可做翘曲片之取放、贴膜且不破片
*蓝膜主轴使用数字扭力限制器，可自动侦测蓝膜半径并调整扭力，使蓝膜张力均一
*简易之供收料及防呆功能，减少正反取放之错误
*制程可以随客户自由选用（正贴、反贴）
*浮动式滚轴设计，确保晶圆受力平均