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自动水平式精密研磨机

专属晶圆减薄加工研磨设备，具备高精密度与快速减薄能力，晶圆尺寸适用性广泛，适用2吋及4吋制程，并可依照制程需求变化研磨参数，提升制程稳定度与产品品质