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全自动抛光机

针对大尺寸蓝宝石(Sapphire)晶片表面薄化加工,提供全自动双轴抛光加工设备,以load on load的方式进行全自动的抛光制程,速度最快、产量最多,并且同时适用多种制程的抛光加工设备.操作简单,全程由PLC制程 控制,精度高、速度快、耗材成本低,人事成本亦可大幅下降

*适用多种制程,可加工4" 及 6"的蓝宝石晶圆
*自动手臂取放功能,实现全自动连续生产目标
*加工过程中,可自动量测工件厚度
*提高抛光制程的稳定性和产品品质
*工作轴摇摆功能,可扩大盘面使用面积,降低生产成本
*抛光盘自动循沟系统,可延长抛光盘的寿命,降低生产成本
*抛光盘角度控制系统,可开槽沟纹及修整抛光角度
*具有自动清洗功能,可保持环境清洁
*可适用保护机制,避免人为疏忽所造成的损失
*操作简单,维修容易

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