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四轴精密抛光机

四轴单面抛光设备，适合多片式与大尺寸晶圆加工；独立控制各轴加工参数，大幅提升加工效率与完工品质优良性

*加工精度高（完工厚度＜±2μ）
*适用「铜盘」及「抛光垫」
*自动盘面修整系统
*温控冷却系统
*钻石液喷洒系统
*气压缸可自动升降

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