凯创开发企业有限公司 - Silicon 矽、GaAs 砷化镓、GaN 氮化镓、SiC 碳化矽

OUR Product

自动CMP抛光机

全自动晶圆单面CMP抛光设备，具备业界独有的工作盘微调功能，以确保良好完工品质

*工作轴各自独立马达，增加制程稳定
*气压缸式加压，可多段压力设置
*盘面冷却系统，增加制程品质
*PLC程序控制，支援厂务监控（CIM）
*多重防护机制及盘面监测系统
*适用多种尺寸、各式晶片制程