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铜盘
采用独特树脂与金属烧结,能够有效提供各类晶圆硬抛光的能力
*盘面变化低,抛光效率佳
*完工表面佳,深刮伤少
*工件完工后表面粗糙度佳
*破片率低,寿命佳
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