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物品名称 型号 制造商
边角研磨机 WBM-210 Daitron
多线切割机 MWS612-DD Takatori
线切割机 Toyo t-8331a Toyo
晶圆测试机 Flatmaster Tropel
研磨机 DSL16B5L-4M4W I&C(Apex-cowork)
双面研磨机-E 16B-5L 创技
双面研磨机-C 16B-5L 创技
Takatori线切割机 MWS 612-DN Takatori
新华刷洗机 WABBER2060S Smartron
高解析数位显微镜 VMX-2200XG n/a
平坦度量测仪 FRT 辛耘
圆边机 W-GM-4200 TOSEI
研磨机 12B-5L-T0240 创技
研磨机 16B-T0231 创技
旋干机 双槽 瑞耘
抛光机 36GPAW 创技
导角机 亮杰 TOSEI
圆边机 W-GM-4200B TOSEI
圆边机 W-GM-4200 TOSEI
自动雷刻机 LM-2400 FORCE
AOI Sappas_V3 Full automation 政美
刷片机 DSC-100CV Daitron
旋干机 双槽SV-702 SCD-01Controller 敦仪
湿蚀刻机 SB-100S 辛耘
去光阻化学清洗机 1P20100401 千誊
旋干机 双轴 n/a
芯片表面检查机 Candela CS20V KLA-TENCOR
全自动AOI Sappas V2 政美
曝光机 NSR-1505G6E NIKON
自动上光阻机 MSX1000 SVS Corp
自动上光阻机 MSX1000 SVS Corp
曝光机 NSR-1505G6E NIKON
曝光机 G6 NIKON
自动显影机 CIE-4D02(04)-C CND PLUS
自动显影机 MSX1000 SVS Corp
SEM电子显微镜机 SU1510 日立
显微镜 MX40 n/a
蚀刻机 300IL CORIAL
抛光机 50GPAW 创技
刻印机 LASER MARKING 新杰
抛光机 50GPAW 创技
自动贴蜡机 1W20100805 元科
目检机 VMX-220XG 元科
X-RAY GM.SSR.AX-PC/GM-1D delta technology
超音波清洗机 MODEL 3303 明谚
研磨机 DSM 13.4B-7L-V-4M 创技
高温扩散炉 1050度 陵胜
圆边机 WBM-2200 Daitron
芯片目检机 VMX-220XG 元科
FRT平坦度检测仪 DEMO TOOL 辛耘
圆边机 W-GM-4250 TOSEI
脱蜡清洗机 M&Y_DS1009 明谚
硬抛机 36DPAW 创技
研磨机 13.4B 创技
抛光机 36GPAW 创技
全自动去蜡清洗机 SCT T001MISC001 辛耘
刷片机 Wabber 2060S Smartron
超音波清洗机 1MHZ/120W 环璟
芯片表面检查机 Candela CS20V KLA-TENCOR
自动上光阻机 KS-S1003C 辛耘
蚀刻机 300LAH Maxis
AFM晶圆表面量测仪 D3100V Veeco
抛光机 36GPAW 创技
螺旋式冰水主机 RTHD-C1E1F1 257吨 诠宏
研磨机 12B 创技
厚度量测仪 AUTO MEASURE 新杰
蓝宝石基板雷射刻印机 AK1001506AEY 新杰
AOI SAPPAS V2 政美
研磨机 12B 创技
冰水主机 CH-01(FROM-CH-1-1) TRANE
105K纯水系统 含控制箱、储水桶2台 SIEMENS

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