以现地现况为主
| 项目 | 设备名称 | 型号 | 数量 | 制造商 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 紫外光臭氧清洗机 | UV-300H | 1 | SAMCO |
| 2 | OVEN | VO 60L | 1 | CHANNEL |
| 3 | OVEN | QHMOL-1S | 1 | C SUN |
| 4 | OVEN | SMO-1S | 5 | C SUN |
| 8 | 轮廓量测设备 | Uni-map | 2 | EtaMAX |
| 9 | 单面抛光机 | 50GPAW-TD | 1 | 创技 Speedfam |
| 10 | 电子氮气干燥柜 | 15-50%RH 1250L | 2 | - |
| 11 | 自动曝光机 Aligner | ELS106FA | 1 | ELS |
| 12 | 切割机 | DAD321 | 1 | Disco |
| 14 | 恒温恒湿机 | THS-A6T-150 | 1 | 庆生 kson |
| 15 | 金相显微镜 | MX61 | 1 | Olympus |
| 16 | 金相显微镜 | MX50 | 1 | Olympus |
| 17 | 金相显微镜 | Nikon L300 | 1 | Nikon |
| 18 | 金相显微镜 | L200 | 1 | Nikon |
| 19 | 工具金相显微镜 | STM5 | 1 | OLYMPUS |
| 20 | 32B 单面研磨机 | 32B-SPAW | 1 | 创技 Speedfam |
| 21 | 36B 抛光机 | 36B-DAW | 1 | 创技 Speedfam |
| 22 | 36B 抛光机 | 36B-DPAW | 1 | 创技 Speedfam |
| 23 | 36B 抛光机 | 36B-GPAW | 1 | 创技 Speedfam |
| 24 | Wafer 非接触式厚度量测仪 | MX 203-6-41-q | 1 | E+H |
| 25 | 导角机 | W-GM-4200 | 1 | 东京精密 Tosei |
| 26 | 导角机 | W-GM-4200 | 1 | 东京精密 Tosei |
| 27 | 平坦度测试设备 (Flatness Tester) | FT-17 | 1 | NIDEK |
| 28 | 水平式旋干机 | SH-801 w/ SCD-03 | 1 | ASSI |
| 29 | 单槽超音波清洗机 | NA | 1 | 斯凯益 |
